ВУП-5М-02

Бесплатно!

Описание материала

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М-02 предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М-02 может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях нayки и техники.

Основные достоинства и особенности

  • универсальность процесса позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
  • высокая скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
  • сохраненние соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
  • прибор позволяет получить высокую адгезию пленок и подложки;
  • возможность изменения структуры и свойств пленок;
  • возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
  • небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
• с турбомолекулярным насосом
3×10-4
Диаметр мишени магнетрона, mm 40
Блок питания DC магнетрона:
• напряжение, V
• ток, mA
1100
300
Блок питания высоковольтный:
• напряжение, kV
• ток, mA
6
50
Блок термического испарения:
• первый испаритель, ток, A
• второй испаритель, ток, A
200
100
Температура нагрева подложки, °C 350
Скорость вращения подложки, rpm 5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm 300×300
Масса прибора, kg, не более 420
Габаритные размеры, mm
• стойка аналитическая
• стойка электрическая
620×630×1600
620×630×1400
Электрическое питание, V 380 / 220
Потребляемая мощность, kVA 4,5

Характеристики

Максимальная потребляемая электрическая мощность, Вт

4500

Напряжение питания, В

220, 380

Частота тока, Гц

50

Количество фаз входного напряжения

3

Предельное давление, Па

3E-4

Тип высоковакуумного насоса

Turbo pump

Количество высоковакуумных насосов

1

Форвакуумный насос

2НВР-5ДМ

Количество форвакуумных насосов

1

Тип форвакуумного насоса

Rotary Vane Pump

Количество каналов подачи рабочего газа

1

Количество магнетронов

3

Тип магнетрона

Balanced

Тип магнитной системы

Постоянные магниты

Диаметр катода магнетрона, мм

40

Максимальный ток разряда магнетрона, А

0,3

Количество резистивных испарителей

2

Максимальный ток резистивного испарителя

100, 200

Количество электронно-лучевых испарителей

1

Максимальный ток пучка электронного испарителя, А

0,05

Минимальный ток пучка электронного испарителя, А

0

Форма технологического отсека

Cylindrical

Диаметр технологического отсека, мм

300

Высота технологического отсека, мм

300

Объём технологического отсека, л

21,2

Вес, кг

380

Максимальное напряжение смещения подложки,В

7000

Минимальное напряжение смещения подложки,В

500

Максимальный ток источника питания смещения подложки, mА

50

Температура нагрева подложки, К

623

Максимальная рабочая температура, °C

35

Минимальная рабочая температура, °C

10

Высоковакуумный насос

НВТ-340-028А, НВТ-340-028Б

Типы файлов

djvu

Качество

good

Язык

Russian

ННП “УКРРОСПРИБОР”

ОАО «Selmi»

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “ВУП-5М-02”

Введите текст вашего объявления о Купле/продаже!

*

*

*

Связанные материалы…