Placeholder

Влияние активации поверхности на морфологические особенности начальных стадий роста полимерных покрытий из активной газовой фазы

Бесплатно!

Описание материала

Рассмотрены особенности образования и начальные стадии роста покрытий политетрафторэтилена на кремнии, обработанного ионами. Показано, что ионная обработка существенно влияет на морфологию и адсорбционные свойства образующихся покрытий, приводит к образованию покрытия, сплошного при эффективной толщине более 3 нм.

Характеристики

Автор(ы)

Гаврильчик В.Т., Егоров А.И., Рогачев А.А., Рогачев А.В., Саркисов О.А.

Язык

Russian

Типы файлов

pdf

Качество

excellent

Дата проведения

22-27 апреля 2002 г.

Название конференции

14-ый Международный симпозиум Тонкие пленки в оптике и электронике

место проведения

Украина Харьков

раздел конференции

Раздел I Механизмы роста и структура тонких пленок

Раздел

Ионно-плазменное оборудование и технологии

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Влияние активации поверхности на морфологические особенности начальных стадий роста полимерных покрытий из активной газовой фазы”