Блок питания магнетронов переменного тока МВ-0,5

Описание материала

Блок питания магнетронов переменного тока МВ-0,5 (RF-генератор) с согласующим устройством

Блок питания МВ-0,5 представляет собой блок переменного питания и предназначен для питания магнетронных распылительных систем током высокой частоты.

Устройство относится к исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150-69.

Источник питания состоит из блока высокочастотного (ВЧ) генератора, устройства согласования и соединительных кабелей.

При эксплуатации, источник питания подключается к штатному магнетрону из комплекта поставки прибора ВУП-5М. При этом питание магнетрона производится током высокой частоты, что позволяет получать высококачественные пленки не только металлов, сплавов и полупроводников, но также пленки диэлектриков путем распыления мишеней из диэлектрических материалов.

Блок ВЧ генератора предназначен для получения высокочастотной электромагнитной энергии заданной мощности и управления режимом напыления, конструктивно выполнен в настольном варианте.

Устройство согласования предназначено для трансформации комплексного входного сопротивления магнетрона в активное сопротивление 50 Ом, что обеспечивает оптимальный режим работы ВЧ генератора. Блок ВЧ генератора имеет заземляющую клемму для соединения с внешним заземляющим контуром.

Максимальная выходная мощность на выходе при активной нагрузке
50 Ом не менее 500 Вт.

Диапазон регулировки и индикации выходной мощности от 0 до 500 Вт с погрешностью ± 20%.

Рабочая частота (13,56 ± 0,135) МГц.

Электрическое питание системы осуществляется от сети переменного тока напряжением 220 В.

Потребляемая системой мощность не более 1,5 кВ А.

Масса системы не более 60 кг.

Габаритные размеры не более 450 х 310 х 450 мм.

Характеристики

Входное напряжение, В

220

Частота входного напряжения, Гц

50

Количество фаз входного напряжения

1

Максимальная выходная мощность, Вт

500

Тип выходного напряжения

RF

Частота выходного напряжения, Гц

13,56E6

Максимальное выходное напряжение, В

1000

Минимальное выходное напряжение, В

500

Максимальная потребляемая электрическая мощность, Вт

1500

Тип охлаждения

Air-cooled

Вес, кг

60

Максимальная рабочая температура, °C

25

Минимальная рабочая температура, °C

15

ННП «УКРРОСПРИБОР»

Отзывы

Пока нет отзывов, хотели бы вы добавить свой отзыв?

Добавьте первый отзыв “Блок питания магнетронов переменного тока МВ-0,5”

Связанные материалы…